如果将FOL车间比喻成一家豪华七星级大酒店，键合工序机台众多，被部署在了大堂，晶圆切割工序跟减薄工序一样，机台数量少，都部署在了独立的小包厢里。
这两个工序通过一道小门相连接，共用去离子DI纯水。
DI纯水的作用有三个，一个是清洗切割历程中发生的硅屑，一个是对切割历程发生的热量起到降温，另一个是对晶圆起到ESD静电防护。
这道工序的目的是将圆镜一般的晶圆支解成一粒...
张江IT男
真诚地谢谢各人的支持！提前祝愿各人中秋快乐！
如果将FOL车间比喻成一家豪华七星级大酒店，键合工序机台众多，被部署在了大堂，晶圆切割工序跟减薄工序一样，机台数量少，都部署在了独立的小包厢里。
这两个工序通过一道小门相连接，共用去离子DI纯水。
DI纯水的作用有三个，一个是清洗切割历程中发生的硅屑，一个是对切割历程发生的热量起到降温，另一个是对晶圆起到ESD静电防护。
这道工序的目的是将圆镜一般的晶圆支解成一粒...
真诚地谢谢各人的支持！提前祝愿各人中秋快乐！