如果说航空发动机,代表了人类科技领域生长的顶级水平,那么光刻机就是半导体工业界最为耀眼的明珠。
作为光刻工艺的焦点设备,也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,光刻机涉及到精密光学、精密运动、高精度情况控制等多项先进技术。
就在去年。
郁金香国的ASML乐成推出了第一台EUV光刻机NXE,也是第一台第五代光刻机。
今后十年,乃至可预见的更长的时间段中,...
如果说航空发动机,代表了人类科技领域生长的顶级水平,那么光刻机就是半导体工业界最为耀眼的明珠。
作为光刻工艺的焦点设备,也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备,光刻机涉及到精密光学、精密运动、高精度情况控制等多项先进技术。
就在去年。
郁金香国的ASML乐成推出了第一台EUV光刻机NXE,也是第一台第五代光刻机。
今后十年,乃至可预见的更长的时间段中,...