从苏远山对浸润式光刻技术的支持力度就知道，苏远山是压根都不相信什么F2光源的……
即便能够完成技术突破，那玩意要牵扯到的方方面面也太广了，险些可以说和目前的ARF完全不搭。生产和革新成本极为高昂。
虽然，如果说F2光源是唯一的解决方案，那也就算了，在EUV没能实现之前，总算是有点波上进步不是？
但林本坚的浸润式光刻，只要完成，那么只需要极低的成本就能把波长从193...
从苏远山对浸润式光刻技术的支持力度就知道，苏远山是压根都不相信什么F2光源的……
即便能够完成技术突破，那玩意要牵扯到的方方面面也太广了，险些可以说和目前的ARF完全不搭。生产和革新成本极为高昂。
虽然，如果说F2光源是唯一的解决方案，那也就算了，在EUV没能实现之前，总算是有点波上进步不是？
但林本坚的浸润式光刻，只要完成，那么只需要极低的成本就能把波长从193...