离开了这里，罗晟和几个技术卖力人来到了隔间的一间聚会会议室再做讨论。
一位友商同伴的技术代表卖力人讲话道：“获取波长13.5纳米的光是实现EUV光刻的一个重要步骤，激光等离子体极紫外光源由于其功率可拓展的特性，成为了极紫外光刻最被看好的高功率光源解决方案。”
“但时间表延后有两大原因，一是所需要的光源功率暂时还无法到达250瓦的事情功率需求，二是光学透镜、反射镜系统对于光学精...
离开了这里，罗晟和几个技术卖力人来到了隔间的一间聚会会议室再做讨论。
一位友商同伴的技术代表卖力人讲话道：“获取波长13.5纳米的光是实现EUV光刻的一个重要步骤，激光等离子体极紫外光源由于其功率可拓展的特性，成为了极紫外光刻最被看好的高功率光源解决方案。”
“但时间表延后有两大原因，一是所需要的光源功率暂时还无法到达250瓦的事情功率需求，二是光学透镜、反射镜系统对于光学精...