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大国芯

第80章 浸入式光刻机

大国芯 我是小卒 2112 2019-07-16 16:23:03

  就在华芯团体上下围绕着张树林这一典型进行着种种宣传运动,推动团体业务的拓展,种种计划的施行之时,孙毅也获得了来自李东来的回复,组织上已经同意了他的要求。

  于是他立即用上华半导体的名义,拿出五亿人民币购入了华晶51%的股权,实现了对华晶的掌控。

  拿到华晶控股权以后,孙毅并没有急着新官上任三把火,而是开始了对为华晶提供如光刻机、刻蚀机等相关生产设备单元的调研事情。

  经过了三个多月的走访调研,孙毅对这些供应配套设备的单元,已经有了一个全面的了解。知道了他们的产物目前在国际上处于一个怎样的水准,自身又有着怎么的技术研发实力。

  “下面我们另有哪几家需要调研?”在赶往下一家调研单元的路上,这些日子忙得有些晕头转向的孙毅,放下手中的调研资料,靠在商务车的柔软座椅的靠背上,揉了揉自己的太阳穴,问身边的助理小李道。

  还没等小李开口,他劈面追随他一起加入调研事情的吴铭开口替小李回覆道:“没了,刚刚调研的那家就是最后一家,明天我们就可以回华晶了。”

  听到调研已经结束,一股淡淡的惆怅,夹着诸多的紧迫涌上他的心头。

  追念起调研时看到的一幕幕,再对比外洋的同行的产物,他感应国内在半导体制造设备上,是落后如此之多。

  一想到这些,他就忍不住叹道:“没想到这么快就结束了,就是结果有些不容乐观。”

  吴铭皱着眉头,接过话茬道:“是呀!其他的虽然问题也多,但终送另有遇上去的希望。

  唯有光刻机,虽说中科院光电所已经研发出分步光刻机,到达了外洋80年代中期的水平。

  可由于技术难度大,研发资金投入巨大,到目前为止相关研发事情进展缓慢,与外洋先进水平之间的差距是越拉越大。”

  说起光刻机,孙毅就是一阵无奈。

  光刻机这一难题即便在重生之前的2019年,仍就在羁绊着中国半导体工业的生长。

  它就像是木桶理论中那最短的一块短板,哪怕那时的中国在刻蚀机等其它半导体制造设备上水平很是高,也因为缺失了光刻机这一环,而导致中国的半导体工业始终落后两代,达不到国际先进水平。

  现在哪怕是他知道了光刻机的重要性,对此仍旧感应有些束手无策。

  光刻机的研发投入太大,风险又太高,仅凭华芯现在的实力,最多只能在后面推上一把,想要推动光刻机的研发,让它遇上国际先进水平,却是有些痴人说梦。

  想到这些他就只能无奈地摇了摇头,对吴铭苦笑道:“这也是没有措施的事,我们的精密加工技术跟不上,再加上国家资金短缺,没有足够的资金投入到光刻机的研发中,尤其是光刻机的光源这一块。

  导致我们一步慢,步步慢,差距是越拉越大。”

  95年的中国虽然也有了自己的分步光刻机,可在光刻机的光源上用的照旧365纳米(I线)近紫外光源,落后于外洋的248纳米(KrF)深紫外光源整整一代。

  这也导致国内的光刻机在精度上,整整落后外洋好几个数量级。

  吴铭听到孙毅这么说,却是心有不甘。

  如今都已经知道问题出在哪里,却因为钱不够,无法将问题解决,这如何不让他感应丧气。

  他皱起眉头,问孙毅道:“难道就没有此外措施吗?我们也可以自己出钱,支持光刻机的研发。”

  显然吴铭并不希望这样被动地期待下去,他更希望能主动加入进去,提高中国的光刻机水平。

  孙毅苦笑连连道:“我的好兄弟,你又不是不知道,华芯现在是小胳膊小腿,这种情况我们真的是无能为力。

  光刻机研发是个烧钱大户,没有国家队进场,一般人还真就吃不住。

  我们现在就是将所有的身家都投进去,也填不满光刻机研发这个无底洞。”

  吴铭不甘道:“可也不能这样眼睁睁地看着,总要做点什么。”

  孙毅听到吴铭这么一说,也觉得坐等下去也不是个事,哪怕是实力不够,怎么说也得博上一把。

  若是不博,岂不是彻底没了希望。

  这时他灵光一闪,想到如今的分步光刻机用的照旧干式光刻机技术,而不是后世EUV问世之前流行的浸入式光刻机技术。

  而干式光刻机与浸入式光刻机事情原理大致相似,两者差异的是干式光刻机的透镜和硅片之间的空隙填充的是空气,而浸入式光刻机的透镜和硅片之间的空气填充的是液体。

  目前因为干式光刻机还没有到达它的上限,再加上外洋目前虽然对浸入式光刻机技术有过研究,但目前使用的浸入液是环辛烷之类的液体。

  导致人们因为对浸入液的充入、镜头的沾污、光刻胶的稳定性和气泡的伤害等要害问题缺乏了解,外洋的相关实验室因此并未对浸入式光刻展开深入的研究。

  他完全可以乘隙从这方面着手,在已有的干式光刻机的基础上探索浸入式光刻机技术,从而实现弯道超车。

  于是他立马有了主意,对吴铭道:“是要做点什么,你看这样如何?

  虽然研发上我们没有那么多钱,但我们可以先找一些这方面的人才进行预研。

  等过几年我们有了资本,能够支撑起光刻机的研发,我们再转头搞光刻机的研发事情,到时候预研正好能直接为我们节省下大量的时间。”

  吴铭一听孙毅要预研,惊喜地问他道:“你准备与中科院光电所相助?”

  孙毅却是摇了摇头道:“不,我们自己干。”

  想到浸入式光刻机的未来的辽阔前景,他决定先要把相关专利掌握在自己手中,再决定选择和谁相助。

  哪怕到时候国内光刻机技术照旧无法遇上,他也能凭借掌握的浸入式光刻机专利,在国际上纵横捭阖,获得他想要的光刻机设备。

  吴铭不知道孙毅的私心,却在担忧其它方面。

  他皱着眉头,忧心忡忡地问孙毅道:“你总不能到45所,中科院光电所去挖人吧!

  咱们可不能因为挖人,把这两家给冒犯了,日后我们在光刻机上还要指望他们资助的。”

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