只见，光刻室里此时并没有一名操作工。
需要流片的硅晶圆片，通过流水线进入一个半密封的洗涤室。洗涤室内有许多自动喷头，可以全方位的喷洒洗涤药剂，清洗硅晶圆片的外貌。
清洗洁净的硅晶圆通过烘干室，自动烘干，热风吹拂除尘除异物，负压吸取异物。完成这道工序，洁净级此外硅晶圆通过运输皮带来到光刻室的主操作间。
这时候，四台码垛机械人把这些硅晶圆片取下来，放入托盘中临时存放。...
只见，光刻室里此时并没有一名操作工。
需要流片的硅晶圆片，通过流水线进入一个半密封的洗涤室。洗涤室内有许多自动喷头，可以全方位的喷洒洗涤药剂，清洗硅晶圆片的外貌。
清洗洁净的硅晶圆通过烘干室，自动烘干，热风吹拂除尘除异物，负压吸取异物。完成这道工序，洁净级此外硅晶圆通过运输皮带来到光刻室的主操作间。
这时候，四台码垛机械人把这些硅晶圆片取下来，放入托盘中临时存放。...