“许董,凭据目前的情况来看,我们团体公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层掌握,并没有把情况说死。他照旧有点担忧这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。
光刻机的原理和照相机的原理基本一样,都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度很是高,最低可到达0.018微米。倘若再使用FinFET制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要到达0.01微米以下。
由此...
“许董,凭据目前的情况来看,我们团体公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层掌握,并没有把情况说死。他照旧有点担忧这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。
光刻机的原理和照相机的原理基本一样,都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度很是高,最低可到达0.018微米。倘若再使用FinFET制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要到达0.01微米以下。
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